| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of silicon based MEMS materials and technologies [electronic resource] / edited by Markku Tilli ... [et al.] |
| ISBN | 9780128177860 |
| พิมพลักษณ์ | Amsterdam, Netherlands : Elsevier, c2020 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 3rd ed |
| รูปเล่ม | 1 computer file |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |
| | Silicon --Electric properties [] |