| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | 3D and circuit integration of MEMS [electronic resource] / edited by Masayoshi Esashi |
| ISBN | 9783527346479 |
| | 9783527823239 (online) |
| | 9783527823246 (epub) |
| | 9783527823253 (ebook) |
| พิมพลักษณ์ | Weinheim, Germany : Wiley-VCH, 2021 |
| รูปเล่ม | 1 computer file |
| ลิงค์ | Wiley Online Library |
| หัวเรื่อง | Integrated circuits |
| | Metal oxide semiconductors, Complementary |
| | Microelectromechanical systems |
| | Silicon-on-insulator technology |