| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Nano- and microelectromechanical systems [electronic resource] : fundamentals of nano- and microengineering / Sergey Edward Lyshevski |
| ผู้แต่ง | Lyshevski, Sergey edward |
| ISBN | 0849309166 (alk. paper) |
| | 9780849309168 |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton : CRC Press, c2001 |
| รูปเล่ม | 338 p |
| ลิงค์ | COMPUTER FILE |
| หัวเรื่อง | Electromagnetic devices |
| | Microelectromechanical systems |