| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Photopolymers [electronic resource] : photoresist materials, processes and applications / Kenichiro Nakamura |
| ผู้แต่ง | Nakamura, Kenichiro |
| ISBN | 9781466517288 (hbk.) : ฿6100.00 |
| | 9781466517288 (hc) |
| | 146651728X (hc) |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton, Fla : CRC Press, 2015 |
| | Boca Raton, FL : CRC Press, c2015 |
| รูปเล่ม | ix, 173 p. : ill |
| ลิงค์ | Contents. |
| | COMPUTER FILE |
| หัวเรื่อง | Microelectronics --Materials [] |
| | Photopolymerization |
| | Photopolymers |
| | Photopolymers --Industrial applications [] |
| | Photoresists |