| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | MEMS \& microsystems : design and manufacture / Tai-Ran Hsu |
| ผู้แต่ง | Hsu, Tai-ran |
| ISBN | 0071204768 |
| | 0071204768 (hbk. : inter. ed.) |
| | 0072393912 (pbk.) |
| | 0072393912 5,288 |
| | 0071204768 (hc) |
| พิมพลักษณ์ | Boston : McGraw-Hill, c2002 |
| ครั้งที่พิมพ์ | McGraw-Hill international ed |
| รูปเล่ม | xii, 436 p. : ill |
| หัวเรื่อง | MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS |
| | MICROELECTRONIC PACKAGING |
| | MICROELECTRONICS |