| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | MEMS [electronic resource] : fundamental technology and applications / editeds by Vikas Choudhary and Krzysztof Iniewski |
| ISBN | 9781466515819 (hc) |
| | 9781466515819 4750 |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton, FL : Taylor & Francis, 2013 |
| รูปเล่ม | xxii, 440 p. : ill |
| ลิงค์ | COMPUTER FILE |
| หัวเรื่อง | Microelectronics |
| | Microelectromechanical systems |
| | Microelectronic packaging |