| Type | Book |
| ชื่อเรื่อง | Introduction to microsystem technology : a guide for students / Gerald Gerlach, Wolfram Dötzel ; translated by Dörte Müller |
| ผู้แต่ง | Gerlach, Gerald |
| ISBN | 9780470058619 |
| | 0470058617 (hbk.) |
| | 9780470058619 (cloth) |
| | 0470058617 |
| | 9780470058619 (hbk.) |
| พิมพลักษณ์ | Chichester, England ; Hoboken, NJ : J. Wiley \& Sons, c2008 |
| รูปเล่ม | xxiii, 351 p. : ill |
| ลิงค์ | Contents. |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |
| | Microelectromechanical systems --Design and construction [] |
| | Microelectronics |
| | System design |