| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | MEMS and microsystems [text] : design and manufacture / Tai-Ran Hsu |
| ผู้แต่ง | Hsu, Tai-ran |
| ISBN | 9780071248037 |
| พิมพลักษณ์ | Boston : McGraw-Hill, 2002 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 1st ed |
| รูปเล่ม | xii, 436 p. : ill., table |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |
| | Microelectronics |