| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Micro electro mechanical system design / James J. Allen |
| ผู้แต่ง | Allen, James j |
| ISBN | 0824758242 |
| | 9780824758240 (alk. paper) |
| | 9780429116865 (ebook) |
| | 0824758242 (alk. paper) |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton : Taylor & Francis, 2005 |
| | Boca Raton, Fla. : Taylor & Francis, c2005 |
| รูปเล่ม | 465 p. : ill |
| ลิงค์ | Taylor & Francis eBooks |
| | connect to resource |
| | COMPUTER FILE |
| หัวเรื่อง | ENGINEERING DESIGN |
| | MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS --DESIGN AND CONSTRUCTION [] |