| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | MEMS [electronic resource] : a practical guide to design, analysis, and applications / edited by Jan G. Korvink and Oliver Paul |
| ISBN | 9780815514978 |
| พิมพลักษณ์ | Norwich, NY : William Andrew, 2006 |
| รูปเล่ม | 1 computer file |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |